#8. [기업분석] ASML

1. 기업개요

 

네덜란드 벨트호벤에 본사를 두고 있는 세계 최대의 노광장비(최근은 euv) 기업으로 필립스와 asml의 합작으로 설립되었다.

20, 21년 기준 노광장비 시장에서 91% 차지한다.

특히, n나노대의 반도체를 제작하기 위해서는 euv 노광장비가 필수적인데 이 장비를 제작할 수 있는 회사는 전 세계에서 asml 한 곳 뿐이다. (이는 삼성전자 정리된 글에 자세히 써 놓았음.)

이 모델은 1대당 3000억이 족히 넘는 초고가 장비이고 공급량도 제한되어 있기 때문에 asml은 슈퍼 을 회사로 불리기도 한다. (왜냐면 3000억씩 써서 장비를 구매할 수 있는 회사가 애초에 제한적이다.)

주요 고객은 삼성전자, tsmc, 인텔을 포함한다. 최근에는 sk하이닉스가 추가되었으며 국내 기업에서는 한화 또한 고객사로 들어간다는 소식이 있다.

 

ps. 삼성이나 인텔과 같은 기업이 신규 공장단지를 짓는다는 오피셜을 띄울 때 같이 주가가 오르는 기업이기도 하다.

 

2. 기업의 역사

 

1986년에는 이 회사에서 PAS 2500 Stepper를 개발하여 판매하였고 이 장치가 시장에서 호평을 얻으면서 본격적으로 반도체 노광장비 시장에 이름을 날리기 시작했다. 

1988년에는 필립스와 합작하여 대만에 공장을 세우고 미국에도 84명의 직원에 5개의 지점을 만들면서 아시아,미국 등 세계 시장 개척에 본격적으로 나서기 시작했다. 그리고 이때 ASML가 합작법인에서 철수하면서 필립스가 그 지분을 인수했다. 그리고 1989년에는 PAS 5000을 개발했다.

1991년 PAS 5500 Stepper/Scanner을 출시하면서 현재는 예전만큼 많이 쓰이지 않지만 당시에는 대세였던 200㎜ 웨이퍼를 이용한 반도체 대량 생산을 위해 만들어진 장치이다. 1995년에는 IPO를 통해 주식시장에 상장하였고 이와 동시에 필립스에서 ASML의 잔여 지분을 대부분 매각하면서 독립 회사가 되었고 현재도 이 체제가 유지되고 있다.

그리고 2001년에는 이 회사가 현재의 독보적인 노광장치 업체로 발돋움 할 수 있게 한 TwinScan 방식을 개발해냈고 2007년에 TWINSCAN XT 라인업의 이머전 TWINSCAN XT:1900i 실기기가 고객사들에게 공급되기 시작하였다. 이 라인업의 제품들은 현재까지도 현역으로 활약하고 있고 가격이 대당 900억 혹은 그 이상인 비싼 장비인지라 쉽게 교체하기는 힘들다.

최근에는 이머전 ArF 멀티플 패터닝의 한계를 극복하는 방법으로 각광받는 EUV(Extreme UltraViolet)기술을 적용해서 더블 패터닝만으로 7㎚를 구현할 수 있는 TWINSCAN NXE를 세계에서 유일하게 생산하고 있다.

EUV 장비를 처음으로 발주하기 시작한건 삼성전자였지만 파운드리 시장 1위인 대만의 TSMC에서도 7㎚ EUV 양산 테스트를 성공적으로 마치면서 EUV장비 확보에 열을 올리기 시작했다. 2019년 하반기 기준 두 선발주자들이 EUV 장비를 이용한 포토 공정에서의 안정화 단계에 이제 막 접어들고 있는 상황이며 ASML도 지속적으로 장비를 개선 중이다. 인텔은 2021년부터 본격적으로 도입을 시작할 예정이다.

 

3. 경쟁업체

 

노광장비 시장에서 주요 경쟁사라고 할 수 있는 기업으로는 캐논과 니콘이 있다. 2019년 시점에서 캐논은 NIL(나노 임프린트 리소그래피) 방식의 초미세공법을 개발 중이다. 니콘은 위에 나온 멀티플 패터닝 장비를 출하하는데 주 고객사였던 tsmc, 삼성은 Euv 장비로 갈아타는 것이 현실이다.

 

기타 반도체 장비 업체로는 amat, tel, 램리서치, 텐코 등이 있다.